1、沸石转轮

　　沸石浓缩转轮的主要成分为高硅铝比沸石的吸附剂，可利用沸石特定孔径对于半导体、汽车涂装及光电业主要有机污染物(IPA、Acetone、PGME、PGMEA)具高吸、脱附效率的特性，使原本具高风量、低浓度的VOC废气，经沸石浓缩转换成低风量、高浓度的废气，降低后端终处理设备的成本。燃烧处理后的热能将自动运用于蓄热室预热进入燃烧机的高浓度废气，以及用于提供脱附浓缩转轮污染物所需的热气。

　　沸石转轮结构吸附VOC污染物所产生的压降相当低，可使风机所需之电力减到最少。

　　由于处理浓缩后的风量仅为进入系统风量的5%到20%，因此可相对缩小焚化尺寸，以维持更低的燃料成本。浓缩倍率介于5倍到20倍之间时。废气VOC去除率能够达到90-95%。一般项目要求VOC去除率为90%。

　　每个转轮分为三个区：吸附区、脱附区、冷却区。每个区轮流执行各自的功能。在制作，安装时候保证每个区的密封。

　　沸石转轮

　　2、RTO蓄热式氧化

　　RTO（Regenerative Thermal Oxidizer，蓄热室氧化器）主要包括蓄热室、氧化室、风机等，它通过蓄热室吸收废气氧化时的热量，并用这些热量来预热新进入的废气，从而有效降低废气处理后的热量排放，同时节约了废气氧化升温时的热量损耗，使废气在高温氧化过程中保持着较高的热效率（热效率95%左右），其设备安全可靠、操作简单、维护方便，运行费用低，VOCs去除率高。

　　RTO的工作原理是：有机废气首先经过蓄热室预热，然后进入氧化室，加热升温到800℃左右，使废气中的VOCs氧化分解成CO2和H2O；氧化后的高热气体再通过另一个蓄热室热处理，然后烟气排出RTO系统。这个过程不断循环再生，每一个蓄热室都是在输入废气与排出处理过的气体的模式间交替转换。切换时间根据实际情况可以调整。