PCB 行业废气有哪些特殊成分
PCB 行业废气有哪些特殊成分摘要
PCB 生产工艺涵盖蚀刻、电镀、显影、丝印等多个环节,废气成分呈现 “多相混合、腐蚀性强” 的特点:酸性气体:蚀刻工序产生 HCl、HF 等,显影工序释放 NaOH 挥发物,酸碱气体混合易形成腐蚀性气溶胶。VOCs 种类多样:丝印环节的油墨挥发苯系物、醇类,阻焊工序排放酯类溶剂,部分工艺含胺类碱性 VOCs。特征污染物:含锡烟(焊锡工序)、硅烷类气体(镀膜工艺),以及光刻胶挥发产生的高分子有机物。
- 酸性气体:蚀刻工序产生 HCl、HF 等,显影工序释放 NaOH 挥发物,酸碱气体混合易形成腐蚀性气溶胶。
VOCs 种类多样:丝印环节的油墨挥发苯系物、醇类,阻焊工序排放酯类溶剂,部分工艺含胺类碱性 VOCs。
特征污染物:含锡烟(焊锡工序)、硅烷类气体(镀膜工艺),以及光刻胶挥发产生的高分子有机物。
固态杂质:钻孔工序的玻纤粉尘、沉铜工序的铜颗粒,粒径多在 1-10μm,易附着在设备内部。
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