电子芯片制造行业：RTO 应对高洁净度生产环境需求
电子芯片制造行业：RTO 应对高洁净度生产环境需求摘要
某高端电子芯片制造企业，在芯片光刻、刻蚀等工序中产生含光刻胶挥发物、有机溶剂废气等，废气风量约 8000m³/h，VOCs 浓度为 600 - 1200mg/m³。由于芯片制造对生产环境洁净度要求极高，企业选用 RTO 设备处理废气，并在设备前端配备多级高效过滤装置，先去除废气中的细微颗粒与杂质，防止其进入 RTO 设备影响运行，同时避免对生产环境造成二次污染。RTO 运行时，燃烧室温度稳定控制在
某高端电子芯片制造企业，在芯片光刻、刻蚀等工序中产生含光刻胶挥发物、有机溶剂废气等，废气风量约 8000m³/h，VOCs 浓度为 600 - 1200mg/m³。由于芯片制造对生产环境洁净度要求极高，企业选用 RTO 设备处理废气，并在设备前端配备多级高效过滤装置，先去除废气中的细微颗粒与杂质，防止其进入 RTO 设备影响运行，同时避免对生产环境造成二次污染。
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