虽然很多半导体行业采用了活性炭吸附箱+催化燃烧技术路线，而且天清佳远也做了很多的案例。不过还是很多在问，哪种更好？

技术方面确实有差别，而成本方面也导致很多客户采用了活性炭吸附箱+催化燃烧技术路线。实际上，天清佳远为越来越多的厂家业主推荐的是沸石转轮+催化燃烧技术路线。

半导体工业中常用的有机溶剂和挥发性有机物，如光刻胶、溶剂蒸汽等，都可以通过沸石转轮催化燃烧技术进行处理。而光刻胶和溶剂蒸汽中的有机物浓度通常较高，活性炭在吸附一定量有机物后很快达到饱和状态，导致吸附效果下降。

• 处理效率：

• 沸石转轮催化燃烧：处理效率稳定在99%以上。
• 活性炭吸附箱催化燃烧：处理效率80%-90%之间。

• 安全性：

• 沸石转轮催化燃烧：安全风险较低，催化燃烧过程稳定可靠。
• 活性炭吸附箱催化燃烧：存在一定安全隐患，活性炭易发生自燃。

• 材料更换周期：

• 沸石转轮催化燃烧：材料更换周期长，几乎不需要额外的材料更换费用。
• 活性炭吸附箱催化燃烧：材料更换周期较短，需要定期更换活性炭，增加了运营成本。

• 成本：

• 沸石转轮催化燃烧：操作维护成本较少。
• 活性炭吸附箱催化燃烧：活性炭更换和催化剂再生成本较高，运营成本较高。

天清佳远的客户案例，经过设备安装并投入运行一段时间后，该厂废气排放浓度显著降低，处理效率稳定在99%以上。同时，沸石转轮催化燃烧技术的安全性得到了验证，催化燃烧过程稳定可靠，几乎没有安全风险。此外，由于沸石转轮的吸附能力强，材料更换周期长，几乎不需要额外的材料更换费用，降低了运营成本。

通过沸石转轮催化燃烧技术的应用，该半导体制造厂成功解决了废气处理难题，实现了废气排放的“清洁、高效、安全”。同时，也为其他同行业企业提供了一种可行的废气处理方案。